电子行业超纯水系统

中国国家电子级超纯水标准


指标名称

一级水(EW_1)

二级水(EW-2)

三级水(EW-3)

四级水(EW-4)

电阻率mΩ·cm25℃

18(95‰时间)

不低于17

 15(95‰ 时间)

低于13

12

0.5

硅最大值≤ug/L

2

10

50

1000

微粒数最大值>1um

0.1

5

10

500

细菌个数≤个/ml 

0.01

0.1

10

100

铜最大值≤ug/l

0.2

1

2

500

锌最大值≤ug/l

0.2

1

2

500

镍最大值≤ug/l

0.1

1

2

500

钠最大值≤ug/l

0.5

2

5

1000

钾最大值≤ug/l

0.5

2

5

500

氯最大值 ≤ug/l

1

1

10

1000

硝酸根最大值≤ug/l

1

1

5

500

磷酸根最大值≤ug/l

1

1

5

500

硫酸根最大值≤ug/l

1

1

5

500

总有机碳最大值≤ug/l

20

100

200

1000


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