超纯水装置是应用在反渗透系统之后取代离子交换设备制取去离子高纯水的设备，它与离子交换设备相比产水水质更稳定，全自动控制且运行费用低。
超纯水装置应用技术比较：
RO反渗透技术是一种利用膜分离去除水中离子的方法，尽管反渗透系统将水中95%-98%的离子去除，但还不能满足部分工业生产的要求，其后续工艺必须使用离子交换设备。近几十年以来，混合床离子交换技术一直作为纯水制备的标准工艺。由于其需要周期性的再生且再生过程中使用大量的化学药品(酸、碱)和纯水，因此已很难满足于无酸碱纯水系统。
将反渗透膜和树脂结合的EDI技术成为水处理技术的一场革命，解决了传统的离子交换越来越无法满足现代工业和环保的难题。EDI技术应用电再生离子交换除盐工艺取代传统混合离子交换除盐工艺。通过离子交换树脂及选择性离子膜达到高脱盐效果，与反渗透结合的联合工艺使产水水质可达电阻率10~17MΩ·CM的高规格产水。
超纯水装置产水电阻率不稳定原因有以下几种：
一、进水中含盐量太高。
二、进水中CO2含量太高。
三、进水PH值偏离中性值太大：预处理达不到EDI进水条件。
若是原水含盐量高，建议采用双级RO反渗透设备作为预除盐，其电导率保持在1～3μS/cm为佳。进水CO2含量高，建议采用脱气膜或脱气塔将CO2去除。pH偏离中性太多，采用pH调节，使EDI进水pH值在7～8即可。
EDI超纯水装置能够有效的去除原水中的全部离子，可连续运行，24小时供水，出水电阻率长期稳定在15MΩ.CM以上，EDI超纯水技术在工艺设计上有很大的优势和发展前景。
