微电子技术是高科技和信息产业的核心技术，微电子行业的生产加工离不开超纯水的使用，微电子生产用超纯水设备针对这一行业用水需求，采用反渗透和EDI相结合的制水工艺，有效去除水中的导电离子，电阻率可以达到18兆欧以上。
1、采用两级反渗透方式，其流程如下：超纯水设备，电镀超纯水设备，EDI超纯水设备。
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
3、采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
1、无需酸碱再生，无化学药剂使用，无酸碱废水排放，生产过程无任何污染，属清洁生产。
2、无需停机再生，连续生产水质稳定的高纯水。
3、运行稳定可靠，降低运行和维修费用。
4、无需派专门人员看守，易于实现设备自动化控制。
5、设备占地面积小，减少车间建设面积，节约场地建设费用投资。
微电子生产用超纯水设备控制系统可根据用户具体使用要求进行个性化设计，结合先进的控制软件，现场在线集中监控重要工艺操作参数，避免人工误操作，多方位确保系统长期稳定运行。
